蒸发环境和汽化过程

蒸发环境和汽化过程

在蒸发装置的真空镀膜室内，将蒸发材料加热汽化,并沉积在基体上，形成薄膜。

真空蒸发装置由镀膜工作室、真空系统、钟罩升降系统、膜厚监控系统、安全保护装置、操作系统和电气控制系统组成。

(1) 镀膜工作室为蒸发过程提供了相应的环境，镀膜工作室包括钟罩、离子轰击电极、低压蒸发电极、蒸发源、基片架、加热罩等。

(2) 真空系统可分为高真空系统与低真空系统两部分。除了真空阀、管道之外，主要由机械真空泵和金S油扩散泵组成。-•般采用热电偶电离复合真空计测贵真空度。

(3) 升降系统可采用液压系统、气压系统或涡轮箱来操作钟罩升降。

(4) 膜厚测量系统可采用石英晶体监控器、光学监控器或电学监控器等测量其膜厚。

(5>安全保护装置包括高压保护开关、油扩散泵断水自动酱报器以及升降系统保护装置、防展装置等。

(6) 操作系统包活位于整个装置面板上的各种手柄、手轮、按钮及开关等。

(7) 电气控制系统包括该装置的全部电气装黃与控制系统，如高压、低压变压器、机械泵的电动机等。

真空镀膜室为沉积薄膜提供了蒸发环境。当物质加热汽化时，其饱和蒸气压与温度有关，温度升高，饱和蒸气压增大。在一定源度下，饱和蒸气压具有一定的值，反之，一定的饱和蒸气压对应一定的温度。通常规定，某一物质的饱和蒸气压达10-2托时的温度称为该物质的蒸发温度。

用来测量压力的单位有：

1标准大气压=760托=101325帕，

1帕=1牛/米2。